Гидравлический фильтр Поддержка железо эпоксидной покрытой сетки низкоуглеродистой стали

Эпоксидированная сетка фильтра с низкоуглеродистой сталью

Эпоксидированная сетка фильтраВведение продукта

Разработано с модифицированной эпоксидной рецептурой и многослойной композитной фильтрацией, специально разработанной для противостояния высококоррозионным агентам (например, плавиковой кислоте/HF) в производстве полупроводников. Интегрирует герметизацию на молекулярном уровне и кислотостойкие материалы для обеспечения герметичной защиты от кислотных паров, частиц и химической деградации в суровых влажных процессах.

Эпоксидированная сетка фильтраКлючевое преимущество

• Сертифицировано по ASTM D1308/F519; выдерживает длительное воздействие растворов HF ≥49% и смешанных кислотных паров
  Разбухание материала по объему<0,1%, исключает отказ уплотнения из-за проникновения кислоты
• Соответствует стандартам SEMI F57 для сверхчистых жидкостей; выщелачивание металлических ионов ≤5ppb
  Наноразмерная внутренняя полировка (Ra≤0,4μм) подавляет адгезию частиц и загрязнение пластин
• Модульные быстроразъемные порты обеспечивают бесшовную интеграцию в системы подачи FDA/UPW/химикатов
  Встроенные пазы для датчика перепада давления для визуального оповещения о сроке службы фильтра

Эпоксидированная сетка фильтраОбласти применения

• Инструменты для влажного травления: Фильтрация выхлопа резервуара HF/HNO₃ для пластин и герметизация трубопроводов
• Химико-механическая полировка: Кислотостойкие фильтры для систем подачи суспензий
• Подача сверхчистых химикатов: Блок барьера кислотных паров в коробке клапанного коллектора (VMB)
• Система очистки выхлопных газов: Модуль предварительной фильтрации кислых выхлопных газов

Эпоксидированная сетка фильтраТехнические параметры

Эпоксидированная сетка фильтраДетали продукта